Teijin Frontier, 초극세 섬유를 이용한 연마 패드 개발

  데이진 그룹의 섬유 및 제품 컨버팅 회사인 데이진 프론티어사(Teijin Frontier Co., Ltd.)는 실리콘 웨이퍼의 생산비용을 감소시키고 품질 관리를 향상시킬 수 있는 연마 패드를 개발했다. 새로운 실리콘 패드는 유연하고, 폴리우레탄 수지를 주입시킨 수분 흡수성 폴리머로 이루어진 초극세 나노섬유인 NANOFRONT® 부직포로 만들어졌다.

< NANOFRONT®를 사용한 연마 패드 >

실리콘 패드의 특징 :

· 나노섬유 부직포의 물결모양으로 인해 만들어진 NANOFRONT®의 넓은 표면적 덕분으로, 흡수성이 증가하여 패드 표면은 연마입자와 연마액에 우수한 접착력을 제공해 연마액 사용 시 농도를 낮출 수 있다.

· NANOFRONT®는 경면 처리된 실리콘 웨이퍼 생산용 연마 패드에 사용하기에 충분히 유연하다.

· NANOFRONT®의 넓은 표면적은 향상된 연마 품질에 기여하는 유체 내의 연마입자 응집을 억제시킨다.

  데이진 프론티어사는 금년 9월 반도체 및 평면-패널 디스플레이 제조업체에게 신형 연마패드를 판매하기 시작하여, 2026년 3월까지 연간 매출액 약 10억 엔(900만 달러)을 목표로 하고 있다. 추후, 데이진 프론티어사는 NANOFRONT® 폴리머의 폴리우레탄 주입기술 및 연마액의 시너지 효과를 극대화시키고 시장 요구에 대응해서 연마 패드 라인업을 확장해 나갈 것으로 기대하고 있다.

  고성능이면서 가격이 낮은 제공하는 반도체에 대한 수요가 증가하고 있다. 이러한 반도체를 생산하기 위해서는 경도 차이가 있는 연마 패드가 필요하다. 연마 패드는 반도체 표면의 나노미터 배선, 크리스탈 실리콘 손상 방지 및 실리콘 웨이퍼의 품질 특성을 유지하는 데 도움이 되는 경면 처리 용도로 다양하게 사용된다. 품질저하 없이 연마액의 양을 감소시키는 것이 주요 과제이지만, 유체가 비용의 상당 부분을 차지하기 때문에 실리콘 웨이퍼의 제조비용 절감에 필수 요소이다. 데이진 프론티어사는 적절한 원사 기술을 활용한 초극세 섬유인 NANOFRONT®를 사용하여 안정적인 품질과 비용 절감을 실현하는 신형 실리콘 패드 개발에 성공했다.

♣ Teijin Homepage (2019년 5월 16일)