각 화학원소들은 고유의 에너지를 가지고 있습니다.
X-Ray Tube에서 발생 확산되는 1차 X선을 시료에 조사하면 시료에서 각 원소별 고유의 에너지가 반응하여 2차 X선( X-Ray Photon)이 발생하여 검출기(Detector)로 포집이 됩니다.
검출기로 포집된 Photon들을 다중채널 분석기(MCA)에서 판별하여 스펙트럼(Spectra, Peak)으로 표시가 되고 Software를통해 정성, 정량분석 및 데이터저장, 출력등이 됩니다.
<ED-XRF 분석절차>
